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核孔膜判断标准

编辑: 更新于:2016-9-11 阅读:

          判断核孔膜产品好坏首先要看孔形。每个孔的形状大小是否一样。比如下图左,采用原子数较小的离子辐照的膜,就会产生大孔小孔。采用原子数较大的离子辐照的膜孔径就会均匀。这好比采用不同重量的子弹去射钢板一样,越重的子弹打出的孔道就越好。
      一般采用的辐照离子按照原子序数由小到达排序:S、Ar、Kr、Xe。采用更重的离子效果就更好。但是相应的辐照技术的难度和成本也就越高。国内通常采用S、Ar、Kr, 国外通常采用Kr、Xe。
        除了离子种类影响孔形外,紫外敏化和蚀刻条件也影响孔形。
      紫外敏化可以改善孔形,如下图所示。采用光学显微镜观察,由于分辨率的问题,看上去很圆的孔,经过电子显微镜观察,如果不经过敏化处理,可能蚀刻孔形就是椭圆形,而且有锥角(下左图),而敏化后再蚀刻,孔就很圆,而且锥角基本看不到。这就是紫外敏化的效果。
     除了紫外敏化,蚀刻条件也可以改善孔形。下图是不同蚀刻条件下,都未采取敏化,蚀刻得到的不同孔形,可以看出不同的蚀刻条件的采用,对核孔膜孔形也有很大的影响。因此,对蚀刻技术的掌握,对孔形的好坏也有重要的影响。

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